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Edwards愛德華干式半導體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應用證明，可以按照工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率，同時減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的可靠性和性能。
Edwards愛德華干式半導體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應用證明，可以按照工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率，同時減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的可靠性和性能。
iXL系列半導體真空泵是緊湊型低能量的 110 m3/h 干泵，用于水處理和其他清潔工作應用。它可快速抽空負載鎖定艙室，能耗極低。
iXL120 是可用于負載鎖定和清潔應用的小且輕的泵之一。其低振動和低噪音級別的優(yōu)點使其適合于安裝在機臺上或工廠的夾心層中，從而有助于節(jié)省寶貴的工廠地面空間。通過環(huán)保模式可在空閑期間降低設備使用率，從而降低操作成本并幫助保護環(huán)境！
愛德華IXL系列半導體干式真空泵維修保養(yǎng)
Edwards愛德華 iXL系列半導體干式真空泵產(chǎn)品型號：iXL120,iXL120N,iXL1000,IPUP2,iXL250Q,iXL500Q,iXL500R,iXL750Q
edwards iXL120 是緊湊型低能量的 110 m3h-1 干泵，用于水處理和其他清潔工作應用。 它可快速抽空負載鎖定艙室，能耗極低。edwards iXL120 是可用于負載鎖定和清潔應用的小且輕的泵之一。 其低振動和低噪音級別的優(yōu)點使其適合于安裝在機臺上或工廠的夾心層中，從而有助于節(jié)省寶貴的工廠地面空間。通過環(huán)保模式可在空閑期間降低設備使用率，從而降低操作成本并幫助保護環(huán)境！
IXL系列干式真空泵產(chǎn)品應用：
·半導體工業(yè)用真空泵和系統(tǒng)
·科研儀器、真空加工用途真空泵和系統(tǒng)
·泄漏檢測、真空儀器、真空元件用于全部工業(yè)領域
·排氣控制、溫度控制、污水處理系統(tǒng)、氣體處理系統(tǒng)、化學品和生料控制及元件清洗服務用于半導體行業(yè)
Edwards iXL1000干泵特點:
?yi流的艙室 抽空時間可減少總體平均循環(huán)時間 (TACT)
?僅僅 0.55kW 的功 耗有助于da程度減少客戶擁有成本
?環(huán)保模式可以在 空閑期間多減少 92% 的功耗
?gao 35oC 的水供給有助于 降低設備冷卻水要求
?極小且極 輕，有助于節(jié)省寶貴的工廠空間
干式真空泵即無油干式機械真空泵簡稱干泵，主要分為干式螺桿真空泵和渦旋式干兩種。
適用于嚴苛應用的大型 iXL干泵
Edwards iXL1000：緊湊型低能量的干 泵，適用于輕負載應用。它提供快速艙室抽空和 極低的功耗?？捎糜谳p負載應用（如晶圓加工、PVD 和 計量）的小且安靜的泵之一。此產(chǎn)品 在高度成功的 iXL120 泵的基礎上構建，具有高抽取速度和低能耗特性。通過環(huán)保模式可在空閑期間降低設備 使用率，從而降低成本并幫助保護環(huán)境。
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