點擊圖片查看大圖| 高溫爐殼體 | 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使得殼體表面溫度小于55℃，內(nèi)爐膛表面涂有1750℃進口氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度 |
| 功率 | 2.5 KW |
| 電壓 | AC 208-240V 單相, 50/60 Hz |
| 加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁合金（表面涂有氧化鋯涂層，使其大程度延長使用壽命） |
| 高工作溫度 | 1200℃ |
| 連續(xù)工作溫度 | 1100℃ |
| 快升溫速率 | <= 20 ℃ |
| 爐管材質(zhì)和尺寸 | 石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm |
| 加熱區(qū)長度 | 400 mm |
| 恒溫區(qū)長度 | 150 (+/-1 ℃) |
| 控溫系統(tǒng) | PID30段程序化控溫 |
| 控溫精度 | +/- 1 ℃ |
| 真空密封系統(tǒng) | 兩個不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計和截止閥），大漏氣率6 mtorr/min |
| 真空泵 | 采用雙旋機械泵，機械泵上安裝有油污過濾器，可以過濾真空泵工作時產(chǎn)生的油煙，減少泵油的損耗，保護環(huán)境和人體健康，過濾的小微粒直徑為0.3微米。 |
| 數(shù)字式真空顯示計 | 進口CVM-211數(shù)顯真空計,已安裝在不銹鋼法蘭上，測量范圍為10-4Torr~1000Torr |
| 混氣系統(tǒng) |
三個浮子流量計(準確率4%FS) 三路浮子量程分別為 10-100 cc/min. 16-160 cc/min. 25-250 cc/min 內(nèi)部安裝有一混氣罐 |
| 尺寸 |
爐體尺寸: 550 x 380 x 520mm 混氣系統(tǒng)尺寸: 600x600x597 mm |
| 凈重 | 60kg |
三通道混氣CVD系統(tǒng)1200℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)
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