給不是很了解真空泵的朋友看,選用真空泵時(shí),需要留意下列事項(xiàng):
1.真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求,如:真空鍍膜要求1×10-5mmHg,通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)目級(jí)。
2.正確地選擇真空泵的工作點(diǎn),每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,如:擴(kuò)散泵為10-3~10-7 mmHg,在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化,其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為5×10-4~×5-10-6 mmHg,因而,泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi),而不能讓它在10-8 mmHg下長(zhǎng)期工作,又如鈦貨泵可以在10-2 mmHg下工作,但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于1×10-5 mmHg為好。
3.真空泵在其工作壓強(qiáng)下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。
4.正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來(lái),互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求,如鈦升貨泵 對(duì)氫有很高的抽速,但不能抽擬,而三極型濺射離子泵,(或二級(jí)型非對(duì)稱陰極濺射離子泵)對(duì)氬有一定的抽速,兩者組合起來(lái),便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度,另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空,有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,需要前級(jí)泵,故都需要把泵組合起來(lái)使用。
5.真空設(shè)備對(duì)油污染的要求,若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí),應(yīng)該選各種無(wú)油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。假如要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達(dá)到清潔真空要求。
6.了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無(wú)顆?;覊m,有無(wú)腐蝕性等。選擇真空泵時(shí),要求知道氣體成分,針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵,假如氣體中含有蒸氣、顆粒及腐蝕性氣體,應(yīng)該考慮在泵的時(shí)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器、除塵器等。
7.真空泵排出來(lái)的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何,假如環(huán)境不答應(yīng)有污染,可以選無(wú)油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。
8.真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過(guò)程及環(huán)境有無(wú)影響,若工藝過(guò)程不答應(yīng),應(yīng)選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。
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