漢鐘PS系列螺桿真空泵特點:
1 排氣路徑短,減少反應(yīng)物沉積
2線性密封性佳,泵性能優(yōu)
3結(jié)構(gòu)簡單,故障率低,維修容易
4電機水冷設(shè)計,通過防爆認證,安全百分比
5 微電腦操作,遠端監(jiān)控,保護周全
上海漢鐘干式真空泵 PS系列
包括機型 漢鐘真空泵PS80 ,漢鐘真空泵PS160,漢鐘真空泵 PS180,漢鐘真空泵 PS602,漢鐘真空泵 PS902,漢鐘真空泵 PS1302,漢鐘真空泵 PS1802
臺灣漢鐘真空泵PS系列產(chǎn)品特點
螺旋真空泵浦產(chǎn)品特色
漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉(zhuǎn)子,在轉(zhuǎn)子間維持微小的間隙,使得真空泵浦運轉(zhuǎn)時腔體內(nèi)無需潤滑,因而無油氣回漏污染的問題。透過專利轉(zhuǎn)子線形良好的密封效果,壓力可達7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短,粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強,加上轉(zhuǎn)子表面披覆特殊材質(zhì)的鍍膜,因此可適用于PECVD、Etching等嚴苛制程。
泵浦溫度控制精準
漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦,承襲上一代真空泵浦優(yōu)良的轉(zhuǎn)子設(shè)計,同時改善殼體的冷卻方式,采用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度,能夠更精準地控制泵浦內(nèi)部溫度,減少沉積物的產(chǎn)生,增加真空泵浦的壽命。
密封馬達安全性高
PS系列真空泵浦亦全面采用專利設(shè)計的水冷罐裝密封馬達,除了能維持更低的馬達運轉(zhuǎn)溫度增加馬達的壽命外,也可完全避免制程氣體外漏的風(fēng)險。
微電腦控制保護周全
PS系列真空泵浦亦可配備微電腦控制器,可同時監(jiān)控馬達電流、馬達溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低,提供真空泵浦完整的安全性保護,十分適用于光電、半導(dǎo)體、太陽能與TFT-LCD等產(chǎn)品穩(wěn)定性要求極高之產(chǎn)業(yè)。
1. 新品真空泵 :
臺灣漢鐘螺桿式干式真空泵(hanbell),新品真空泵有德國BECKER貝克系列真空泵,全新Edwards愛德華系列真空泵,具體品牌型號歡迎來電咨詢。
2. 二手真空泵:
二手真空泵,有油式/干式/渦卷式/碳片式/冷凍式真空泵,真空系統(tǒng)設(shè)備等,具體歡迎咨詢。
優(yōu)勢產(chǎn)品包括:
漢鐘PS1802,漢鐘PS1302,漢鐘PS902,漢鐘PS602,愛德華RV12,愛德華RV5,愛德華RV8,愛德華E2M18,愛德華E2M28,愛德華E2M40,愛德華E2M80,愛德華E2M275,貝克U4.100,貝克U4.40,貝克VT4.40,貝克VT4.8,紀維GWSP300,紀維GWSP600,紀維GWSP150,萊寶D65B,萊寶D16B,萊寶D25B,阿爾卡特2033,阿爾卡特2021,愛德華19號油,愛德華20號油,愛德華70號油,F(xiàn)OMBLIN25/6, FOMBLIN16/6,松村MR-200,松村MR-250,松村MR-100,杜邦1525,愛德華油霧過濾器等