美國(guó)CARTEN閥門(mén)HFC系列超高純波紋管閥
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
應(yīng)用行業(yè):半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、液晶面板制造等行業(yè),或者其他一些有超高純流體要求的行業(yè).
應(yīng)用環(huán)境:超高純大宗氣體管路分配系統(tǒng)、超高純流體設(shè)備和機(jī)臺(tái)等.
高工作壓力:真空375PSI
孔徑大?。?.25INCH(1/4"),0.5INCH(1/2")
高工作溫度:82℃
膜片密封和CTFE閥座致使在氦檢的時(shí)候大泄漏率也只達(dá)到1x 10 scc/s.
內(nèi)側(cè)和閥座旁邊均經(jīng)過(guò)了氦檢.
連接尺寸:1/4" 3/8" 1/2" 3/4" 1" 1.5" 2" 2.5" 4" 6"
在1級(jí)潔凈廠房吹掃并終包裝.