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章PECVD產(chǎn)業(yè)概述1
1.1PECVD定義及原理1
1.1.1PECVD（PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition）定義1
1.1.2PECVD(等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)原理2
1.2PECVD分類(lèi)及應(yīng)用3
1.3PECVD產(chǎn)業(yè)鏈結(jié)構(gòu)5
1.4PECVD產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢(shì)6
第二章PECVD設(shè)備結(jié)構(gòu)與工藝流程7
2.1PECVD設(shè)備結(jié)構(gòu)
2.2PECVD工藝流程9
第三章PECVD產(chǎn)、供、銷(xiāo)、需市場(chǎng)現(xiàn)狀和預(yù)測(cè)分析12
3.1PECVD生產(chǎn)、供應(yīng)量綜述12
3.2PECVD管式板式市場(chǎng)份額17
3.3PECVD需求量及供需關(guān)系一覽20
3.42013-2015及中國(guó)PECVD成本價(jià)格產(chǎn)值利潤(rùn)率一覽21
第四章國(guó)外PECVD核心企業(yè)（14個(gè)）研究22
4.1Centrotherm（德國(guó)）(管式PECVD)22
4.2Roth-Rau（德國(guó)）（平板式PECVD）24
4.3ASMI（日本）(管式PECVD)26
4.4Gebr.Schmid（德國(guó)）(管式PECVD)28
4.5Jonas&Redmann（德國(guó)）(管式PECVD)30
4.6JUSUNG（韓國(guó)）(管式PECVD,但主要產(chǎn)品是薄膜PECVD)32
4.7LPT（德國(guó)）(管式PECVD)34
4.8MVSystems（美國(guó)）(管式PECVD)36
4.9ProTemp（美國(guó)）(管式PECVD)38
4.10SFA（韓國(guó)）(管式PECVD)40
4.11Singulus（德國(guó)）(管式PECVD，除晶硅外也有薄膜PECVD)42
4.12SVCS（捷克）(管式PECVD)43
4.13TempressSystems（荷蘭）(管式PECVD)45
4.13島津（日本）(平板式PECVD)47
第五章國(guó)內(nèi)PECVD核心企業(yè)（8個(gè)）研究49
5.1北方微電子(平板式PECVD)49
5.2七星微電子(管式PECVD)51
5.3CETC48所(管式PECVD)53
5.4大族光伏(管式PECVD)55
5.5沈陽(yáng)科儀(管式PECVD)56
5.6青島華旗(管式PECVD)58
5.7捷佳偉創(chuàng)(管式PECVD)60
5.8賽瑞達(dá)(管式PECVD)62
第六章PECVD項(xiàng)目可行性分析64
6.1PECVD項(xiàng)目機(jī)會(huì)風(fēng)險(xiǎn)分析64
6.2100管管式PECVD項(xiàng)目可行性分析65
第七章PECVD產(chǎn)業(yè)研究總結(jié)66

報(bào)告圖表目錄
圖 管式PECVD實(shí)物圖 1
圖 板式PECVD實(shí)物圖 2
圖 管式板式PECVD內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖 3
表 晶硅太陽(yáng)能電池片PECVD分類(lèi)及應(yīng)用領(lǐng)域一覽表 3
圖 PECVD產(chǎn)業(yè)鏈結(jié)構(gòu)圖 5
圖 PECVD設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖 8
表 PECVD操作工藝流程步驟9
表 2013-2018年22個(gè)企業(yè)PECVD產(chǎn)能及總產(chǎn)能（兆瓦）一覽表 12
表 2013-2018年22個(gè)企業(yè)PECVD產(chǎn)能市場(chǎng)份額一覽表 12
表 2013-2018年22個(gè)企業(yè)PECVD產(chǎn)量及總產(chǎn)量（兆瓦）一覽表 13
表 2013-2018年22個(gè)企業(yè)PECVD產(chǎn)量市場(chǎng)份額一覽表 14
圖 2013-2018年P(guān)ECVD產(chǎn)能產(chǎn)量（兆瓦）及增長(zhǎng)率15
表 2013-2018年P(guān)ECVD總產(chǎn)能利用率一覽表 15
表 2013-2018年中國(guó)8個(gè)企業(yè)PECVD產(chǎn)能及總產(chǎn)能（兆瓦）一覽表 15
表 2013-2018年中國(guó)8個(gè)企業(yè)PECVD產(chǎn)能市場(chǎng)份額一覽表 16
表 2013-2018年中國(guó)8個(gè)企業(yè)PECVD產(chǎn)量及總產(chǎn)量（兆瓦）一覽表 16
表 2013-2018年中國(guó)8個(gè)企業(yè)PECVD產(chǎn)量市場(chǎng)份額一覽表 16
圖 2013-2018年中國(guó)PECVD產(chǎn)能產(chǎn)量（兆瓦）及增長(zhǎng)率17
表 2013-2018年中國(guó)PECVD總產(chǎn)能利用率一覽表 17
表 2013-2018年管式板式PECVD產(chǎn)量（兆瓦）及市場(chǎng)份額一覽表 17
表 2013-2018年中國(guó)管式板式PECVD產(chǎn)量（兆瓦）及市場(chǎng)份額一覽表 18
表 2013-2018年19個(gè)企業(yè)管式PECVD產(chǎn)量及總產(chǎn)量（兆瓦）一覽表 18
表 2013-2018年19個(gè)企業(yè)管式PECVD產(chǎn)量市場(chǎng)份額一覽表 19
表 2013-2018年3個(gè)企業(yè)板式PECVD產(chǎn)量（兆瓦）及市場(chǎng)份額一覽表 19
表 2013-2018年中國(guó)7個(gè)企業(yè)管式PECVD產(chǎn)量及總產(chǎn)量（兆瓦）一覽表 20
表 2013-2018年中國(guó)7個(gè)企業(yè)管式PECVD產(chǎn)量市場(chǎng)份額一覽表 20
表 2013-2018年P(guān)ECVD供應(yīng)量需求量缺口量（GW）一覽表 20
表 2013-2018年中國(guó)PECVD供應(yīng)量需求量缺口量（MW）一覽表 21
表 2013-2018年國(guó)際PECVD產(chǎn)量（臺(tái)）售價(jià)、成本、利潤(rùn)（百萬(wàn)美元/臺(tái)）產(chǎn)值（百萬(wàn)美元）利潤(rùn)率一覽表 21
表 2013-2018年國(guó)內(nèi)PECVD產(chǎn)量（臺(tái)）售價(jià)、成本、利潤(rùn)（百萬(wàn)美元/臺(tái)）產(chǎn)值（百萬(wàn)美元）利潤(rùn)率一覽表 21
表 Centrotherm公司信息一覽表 （產(chǎn)品、客戶(hù)、原料設(shè)備、擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃等13項(xiàng)內(nèi)容）22
表 2013-2018年德國(guó)CentrothermPECVD產(chǎn)量（臺(tái)）售價(jià)、成本、利潤(rùn)（美元/臺(tái)）產(chǎn)值（百萬(wàn)美元）利潤(rùn)率一覽表 23
圖 2013-2018年德國(guó)CentrothermPECVD產(chǎn)能產(chǎn)量(MW)及增長(zhǎng)率24
表 Roth-Rau公司信息一覽表 （產(chǎn)品、客戶(hù)、原料設(shè)備、擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃等13項(xiàng)內(nèi)容）24
表 2013-2018年德國(guó)Roth-RauPECVD產(chǎn)量（臺(tái)）售價(jià)、成本、利潤(rùn)（美元/臺(tái)）產(chǎn)值（百萬(wàn)美元）利潤(rùn)率一覽表 25
圖 2013-2018年德國(guó)Roth-RauPECVD產(chǎn)能產(chǎn)量（MW）及增長(zhǎng)率26
表 ASMI公司信息一覽表 （產(chǎn)品、客戶(hù)、原料設(shè)備、擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃等13項(xiàng)內(nèi)容）26
表 2013-2018年日本ASMIPECVD產(chǎn)量（臺(tái)）售價(jià)、成本、利潤(rùn)（美元/臺(tái)）產(chǎn)值（百萬(wàn)美元）利潤(rùn)率一覽表 27
圖 2013-2018年日本ASMIPECVD產(chǎn)能產(chǎn)量（MW）及增長(zhǎng)率28
表 Gebr.Schmid公司信息一覽表 （產(chǎn)品、客戶(hù)、原料設(shè)備、擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃等13項(xiàng)內(nèi)容）28
表 2013-2018年德國(guó)Gebr.SchmidPECVD產(chǎn)量（臺(tái)）售價(jià)、成本、利潤(rùn)（美元/臺(tái)）產(chǎn)值（百萬(wàn)美元）利潤(rùn)率一覽表 29
圖 2013-2018年德國(guó)Gebr.SchmidPECVD產(chǎn)能產(chǎn)量（MW）及增長(zhǎng)率30
表 Jonas&Redmann公司信息一覽表 （產(chǎn)品、客戶(hù)、原料設(shè)備、擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃等13項(xiàng)內(nèi)容）30
表 2013-2018年德國(guó)Jonas&RedmannPECVD產(chǎn)量（臺(tái)）售價(jià)、成本、利潤(rùn)（美元/臺(tái)）產(chǎn)值（百萬(wàn)美元）利潤(rùn)率一覽表 31
圖 2013-2018年德國(guó)Jonas&RedmannPECVD產(chǎn)能產(chǎn)量（MW）及增長(zhǎng)率32
表 JUSUNG公司信息一覽表 （產(chǎn)品、客戶(hù)、原料設(shè)備、擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃等13項(xiàng)內(nèi)容）32
表 2013-2018年韓國(guó)JUSUNGPECVD產(chǎn)量（臺(tái)）售價(jià)、成本、利潤(rùn)（美元/臺(tái)）產(chǎn)值（百萬(wàn)美元）利潤(rùn)率一覽表 33
圖 2013-2018年韓國(guó)JUSUNGPECVD產(chǎn)能產(chǎn)量（MW）及增長(zhǎng)率34
表 LPT公司信息一覽表 （產(chǎn)品、客戶(hù)、原料設(shè)備、擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃等13項(xiàng)內(nèi)容）34
表 2013-2018年德國(guó)LPTPECVD產(chǎn)量（臺(tái)）售價(jià)、成本、利潤(rùn)（美元/臺(tái)）產(chǎn)值（百萬(wàn)美元）利潤(rùn)率一覽表 35
圖 2013-2018年德國(guó)LPTPECVD產(chǎn)能產(chǎn)量（MW）及增長(zhǎng)率36
表 MVSystems公司信息一覽表 （產(chǎn)品、客戶(hù)、原料設(shè)備、擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃等13項(xiàng)內(nèi)容）36
表 2013-2018年美國(guó)MVSystemsPECVD產(chǎn)量（臺(tái)）售價(jià)、成本、利潤(rùn)（美元/臺(tái)）產(chǎn)值（百萬(wàn)美元）利潤(rùn)率一覽表 37
圖 2013-2018年美國(guó)MVSystemsPECVD產(chǎn)能產(chǎn)量（MW）及增長(zhǎng)率38
表 ProTemp公司信息一覽表 （產(chǎn)品、客戶(hù)、原料設(shè)備、擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃等13項(xiàng)內(nèi)容）38
表 2013-2018年美國(guó)PorTempPECVD產(chǎn)量（臺(tái)）售價(jià)、成本、利潤(rùn)（美元/臺(tái)）產(chǎn)值（百萬(wàn)美元）利潤(rùn)率一覽表 39
圖 2013-2018年美國(guó)PorTempPECVD產(chǎn)能產(chǎn)量（MW）及增長(zhǎng)率40
表 SFA公司信息一覽表 （產(chǎn)品、客戶(hù)、原料設(shè)備、擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃等13項(xiàng)內(nèi)容）40
表 2013-2018年韓國(guó)SFAPECVD產(chǎn)量（臺(tái)）售價(jià)、成本、利潤(rùn)（美元/臺(tái)）產(chǎn)值（百萬(wàn)美元）利潤(rùn)率一覽表 41
圖 2013-2018年韓國(guó)SFAPECVD產(chǎn)能產(chǎn)量（MW）及增長(zhǎng)率41
表 Singulus（德國(guó)）公司信息一覽表 （聯(lián)系信息產(chǎn)品客戶(hù)市場(chǎng)地位產(chǎn)能產(chǎn)地等13項(xiàng)內(nèi)容）42
表 2013-2018年德國(guó)SingulusPECVD產(chǎn)量（臺(tái)）售價(jià)、成本、利潤(rùn)（美元/臺(tái)）產(chǎn)值（百萬(wàn)美元）利潤(rùn)率一覽表 42
圖 2013-2018年德國(guó)SingulusPECVD產(chǎn)能產(chǎn)量（MW）及增長(zhǎng)率43
表 SVCS（捷克）公司信息一覽表 （聯(lián)系信息產(chǎn)品客戶(hù)市場(chǎng)地位產(chǎn)能產(chǎn)地等13項(xiàng)內(nèi)容）43
表 2013-2018年捷克SVCSPECVD產(chǎn)量（臺(tái)）售價(jià)、成本、利潤(rùn)（美元/臺(tái)）產(chǎn)值（百萬(wàn)美元）利潤(rùn)率一覽表 44
圖 2013-2018年捷克SVCSPECVD產(chǎn)能產(chǎn)量（MW）及增長(zhǎng)率45
表 TempressSystems（荷蘭）公司信息一覽表 （聯(lián)系信息產(chǎn)品客戶(hù)市場(chǎng)地位產(chǎn)能產(chǎn)地等13項(xiàng)內(nèi)容）45
表 2013-2018年荷蘭TempressPECVD產(chǎn)量（臺(tái)）售價(jià)、成本、利潤(rùn)（美元/臺(tái)）產(chǎn)值（百萬(wàn)美元）利潤(rùn)率一覽表 46
圖 2013-2018年荷蘭TempressPECVD產(chǎn)能產(chǎn)量（MW）及增長(zhǎng)率46
表 島津（日本）公司信息一覽表 （聯(lián)系信息產(chǎn)品客戶(hù)市場(chǎng)地位產(chǎn)能產(chǎn)地等13項(xiàng)內(nèi)容）47
表 2013-2018年日本島津PECVD產(chǎn)量（臺(tái)）售價(jià)、成本、利潤(rùn)（美元/臺(tái)）產(chǎn)值（百萬(wàn)美元）利潤(rùn)率一覽表 48
圖 2013-2018年日本島津PECVD產(chǎn)能產(chǎn)量（MW）及增長(zhǎng)率49
表 北方微電子公司信息一覽表 （聯(lián)系信息產(chǎn)品客戶(hù)市場(chǎng)地位產(chǎn)能產(chǎn)地等13項(xiàng)內(nèi)容）49
表 2013-2018年北方微電子PECVD產(chǎn)量（臺(tái)）售價(jià)、成本、利潤(rùn)（美元/臺(tái)）產(chǎn)值（百萬(wàn)美元）利潤(rùn)率一覽表 50
圖 2013-2018年北方微電子PECVD產(chǎn)能產(chǎn)量（MW）及增長(zhǎng)率51
表 七星微電子公司信息一覽表 （聯(lián)系信息產(chǎn)品客戶(hù)市場(chǎng)地位產(chǎn)能產(chǎn)地等13項(xiàng)內(nèi)容）51
表 2013-2018年七星微電子PECVD產(chǎn)量（臺(tái)）售價(jià)、成本、利潤(rùn)（美元/臺(tái)）產(chǎn)值（百萬(wàn)美元）利潤(rùn)率一覽表 52
圖 2013-2018年七星微電子PECVD產(chǎn)能產(chǎn)量（MW）及增長(zhǎng)率52
表 CETC48所公司信息一覽表 （聯(lián)系信息產(chǎn)品客戶(hù)市場(chǎng)地位產(chǎn)能產(chǎn)地等13項(xiàng)內(nèi)容）53
表 2013-2018年CETC48PECVD產(chǎn)量（臺(tái)）售價(jià)、成本、利潤(rùn)（美元/臺(tái)）產(chǎn)值（百萬(wàn)美元）利潤(rùn)率一覽表 54
圖 2013-2018年CETC48PECVD產(chǎn)能產(chǎn)量（MW）及增長(zhǎng)率54
表 大族光伏所公司信息一覽表 （聯(lián)系信息產(chǎn)品客戶(hù)市場(chǎng)地位產(chǎn)能產(chǎn)地等13項(xiàng)內(nèi)容）55
表 2013-2018年大族光伏PECVD產(chǎn)量（臺(tái)）售價(jià)、成本、利潤(rùn)（美元/臺(tái)）產(chǎn)值（百萬(wàn)美元）利潤(rùn)率一覽表 55
圖 2013-2018年大族光伏PECVD產(chǎn)能產(chǎn)量（MW）及增長(zhǎng)率56
表 沈陽(yáng)科儀公司信息一覽表 （聯(lián)系信息產(chǎn)品客戶(hù)市場(chǎng)地位產(chǎn)能產(chǎn)地等13項(xiàng)內(nèi)容）56
表 2013-2018年沈陽(yáng)科儀PECVD產(chǎn)量（臺(tái)）售價(jià)、成本、利潤(rùn)（美元/臺(tái)）產(chǎn)值（百萬(wàn)美元）利潤(rùn)率一覽表 57
圖 2013-2018年沈陽(yáng)科儀PECVD產(chǎn)能產(chǎn)量（MW）及增長(zhǎng)率58
表 青島華旗公司信息一覽表 （聯(lián)系信息產(chǎn)品客戶(hù)市場(chǎng)地位產(chǎn)能產(chǎn)地等13項(xiàng)內(nèi)容）58
表 2013-2018年青島華旗PECVD產(chǎn)量（臺(tái)）售價(jià)、成本、利潤(rùn)（美元/臺(tái)）產(chǎn)值（百萬(wàn)美元）利潤(rùn)率一覽表 59
圖 2013-2018年青島華旗PECVD產(chǎn)能產(chǎn)量（MW）及增長(zhǎng)率60
表 捷佳偉創(chuàng)公司信息一覽表 （聯(lián)系信息產(chǎn)品客戶(hù)市場(chǎng)地位產(chǎn)能產(chǎn)地等13項(xiàng)內(nèi)容）60
表 2013-2018年捷佳偉創(chuàng)PECVD產(chǎn)量（臺(tái)）售價(jià)、成本、利潤(rùn)（美元/臺(tái)）產(chǎn)值（百萬(wàn)美元）利潤(rùn)率一覽表 61
圖 2013-2018年捷佳偉創(chuàng)PECVD產(chǎn)能產(chǎn)量（MW）及增長(zhǎng)率62
表 賽瑞達(dá)公司信息一覽表 （聯(lián)系信息產(chǎn)品客戶(hù)市場(chǎng)地位產(chǎn)能產(chǎn)地等13項(xiàng)內(nèi)容）62
表 2013-2018年賽瑞達(dá)PECVD產(chǎn)量（臺(tái)）售價(jià)、成本、利潤(rùn)（美元/臺(tái)）產(chǎn)值（百萬(wàn)美元）利潤(rùn)率一覽表 63
圖 2013-2018年賽瑞達(dá)PECVD產(chǎn)能產(chǎn)量（MW）及增長(zhǎng)率64
表 PECVD項(xiàng)目機(jī)會(huì)風(fēng)險(xiǎn)一覽表 64
表 100管管式PECVD項(xiàng)目可行性分析一覽表 65