PARTLOW 2111101
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PARTLOW 2111101該平臺(tái)具有 0.15 nm 的分辨率,0.007% 的直線度和 2 nm 的重復(fù),能夠滿足從顯微鏡到光學(xué)對(duì)準(zhǔn)等嚴(yán)苛的應(yīng)用需求。其行程范圍從 100 μm 到 600 μm。 QNP 壓電平臺(tái)由無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向,用有限元分析法進(jìn)行優(yōu)化來實(shí)現(xiàn)快 速閉合環(huán)路響應(yīng)。這種集成式 XY 組合平臺(tái)使整體高度和運(yùn)動(dòng)質(zhì)量都達(dá) 到小,因而具有優(yōu)異的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)多軸性能。
l Motorola(摩托羅拉):MVME 162、MVME 167、MVME1772、MVME177等系列。 |